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市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機器制造所、和等，按收入計，2021年大廠(chǎng)商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看，低于1500升/秒占有重要地位，按收入計，2021年市場(chǎng)份額為%，預計2028年份額將達到%。同時(shí)就應用來(lái)看，半導體行業(yè)在2028年份額大約是%，未來(lái)幾年CAGR大約為%。
根據不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細分為:
低于1500升/秒
1500到3000升/秒
高于3000升/秒
根據不同應用，本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域：
半導體行業(yè)
光伏行業(yè)
鍍膜行業(yè)
其他
渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面：
（1）抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數；u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加，泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據（4-66），隨著(zhù)S1的增加，S將偏離直線(xiàn)。
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用于氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的多為抽速60L/s左右的小型泵,對氦氣的壓縮比在1000左右。分子泵的抽速與動(dòng)葉輪的轉速有關(guān)，只有動(dòng)葉輪的切向速度與氣體分子的熱運動(dòng)速度相當時(shí)才有抽氣能力,且抽速隨轉速而增,所以抽速在50~150L/s之間的小型分子泵的轉速通常達到90000~40000轉/分。分子泵的另一性能指標是,壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力之比,壓縮比于轉速及分子量的關(guān)系是:
Kcxexp[GXu(M)17]式中:G為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數;U為葉輪轉速;M為氣體的分子量?？梢?jiàn)分子量大的氣體壓縮比大。氦質(zhì)譜檢漏儀中,逆擴散檢漏正是利用分子泵對小分子量氦氣的低壓縮比，而且，還通過(guò)降低葉輪轉速，降低對He的壓縮比,從而提高對氦氣的響應靈敏度。
改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的轉速,分子泵的壓縮比會(huì )發(fā)生變化,分子泵的轉速由1500Hz改變?yōu)?000Hz,分子泵的壓縮比會(huì )變小，進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分壓增加，檢漏儀檢測到氦信號會(huì )變大，試驗中,檢漏儀在1000Hz下的信號是1500Hz信號的3.5倍，也就是說(shuō)分子泵在1500Hz的壓縮比;是1000Hz的3.5倍。
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氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對快速啟動(dòng)儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥，現已采用自控閥自動(dòng)調節運轉時(shí)的誤差。
同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線(xiàn)管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。還可以使用app遠程操控檢漏儀，并實(shí)時(shí)監控檢漏儀顯示漏率。
無(wú)論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統，還是用于常規工業(yè)真空加工的熱處理系統，或適合在車(chē)間中實(shí)時(shí)檢測泄露的快速耐用的便攜解決方案，都可提供相應的解決方案。：氦質(zhì)譜檢漏儀中分子泵與油泵有什么區別？現今，越來(lái)越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。
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